光催化反應(yīng)器定制加工服務(wù)包括微通道的刻蝕、芯片切割打孔和芯片鍵合,我們經(jīng)過數(shù)年如一日的工藝探索,將上述工藝進(jìn)行優(yōu)化,可實現(xiàn)常用多做玻璃材料的微通道加工和芯片鍵合,并建成低成本大批量柔性生產(chǎn)線,即可滿足科研用戶小量多次的科研需求,又可滿足微化工產(chǎn)業(yè)化用戶微通道反應(yīng)器工藝開發(fā)和生產(chǎn)的要求。
光催化反應(yīng)器定制加工服務(wù):
可加工玻璃材質(zhì):鈉鈣玻璃(也即蘇打玻璃或綠玻璃),高硼硅玻璃(康寧、肖特)和石英玻璃(JSG-2)
微通道加工方式:HF濕法刻蝕,激光刻蝕和機(jī)械加工
切割和打孔方式:激光加工
微通道加工尺寸:HF濕法刻蝕,常用微反應(yīng)器微通道尺寸為50μm~1000μm(寬度加工能力小可達(dá)2μm,深度可控制在nm級別);激光加工,常用微反應(yīng)器微通道尺寸為0.3~3mm(由于激光加工微通道底部粗糙度較大,加工大尺寸可選)。
微通道深寬比:HF濕法刻蝕一般按照以下公式設(shè)計,預(yù)期寬度=設(shè)計寬度+刻蝕深度×2×a(a為刻蝕系數(shù),主要由玻璃材料決定);若選激光加工方式,深寬比基本不受限制。
玻璃芯片鍵合:低溫預(yù)鍵合,高溫強(qiáng)化鍵合(低于軟化溫度),不會導(dǎo)致微通道在鍵合過程中壓縮塌陷;可實現(xiàn)雙層、三層和更多層鍵合。
承受流體壓力:可達(dá)20bar,若加載環(huán)壓,可達(dá)10Mpa甚至40Mpa,后者適用于石油驅(qū)替研究(本公司可提供環(huán)壓裝置定制)。
流體驅(qū)動:那央提供成套成熟的流體進(jìn)出口接頭和夾具,可配套注射泵、蠕動泵及柱塞泵等。
溫度控制:那央提供成套成熟的溫度控制設(shè)備,恒溫加熱(或梯度加熱)或恒溫制冷。